1.真空的定義
真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。
2.真空度
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3.真空度單位
通常用托（Torr）為單位，近年國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位。
1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱
4.托與帕的轉(zhuǎn)換
1托＝133.322帕 或 1帕＝7.5×10-3托
5.平均自由程
作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示。
6.流量
單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量，符號(hào)用“Q”表示，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7.流導(dǎo)
表示真空管道通過(guò)氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差。符號(hào)記作“U”。
U＝Q/(P2- P1)
8.壓力或壓強(qiáng)
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。
9.標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。
10.極限真空
真空容器經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱(chēng)為極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。
11.抽氣速率
在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱(chēng)為抽氣速率，簡(jiǎn)稱(chēng)抽速。即Sp＝Q/（P－P0）
12.熱偶真空計(jì)
利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。
13.電離真空計(jì)（又稱(chēng)熱陰極電離計(jì)）
由筒狀收集極，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
14.復(fù)合真空計(jì)
由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成，測(cè)量范圍從大氣----10-5Pa。
15.冷陰極電離計(jì)
陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。
16.電阻真空計(jì)
利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)。
17.麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)）
將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開(kāi)管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。
18.B－A規(guī)
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測(cè)量下限，可測(cè)超高真空。
19.無(wú)油渦旋真空泵
無(wú)油渦旋真空泵由泵頭、電機(jī)、機(jī)座等構(gòu)成。泵頭含有動(dòng)、定渦旋盤(pán)、曲軸、密封件、風(fēng)扇和泵殼等。渦旋盤(pán)為圓形平面和其上伸出的一條或幾條漸開(kāi)線螺旋形盤(pán)壁組成，定渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)組成渦旋盤(pán)付構(gòu)成無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。工作過(guò)程中動(dòng)、定渦旋盤(pán)互不接觸，依靠相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷縮小的新月形吸氣腔和壓縮腔，通過(guò)吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)，使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出。
無(wú)油渦旋真空泵具有清潔無(wú)油、性能穩(wěn)定、低噪音、低振動(dòng)、低能耗等優(yōu)點(diǎn)，是真正的無(wú)油真空泵。
20.往復(fù)真空泵
利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。
21.油封機(jī)械真空泵
用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。
22.羅茨真空泵
具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的8字形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣，需配旋片、水環(huán)等可直排大氣的前級(jí)真空泵。
23.渦輪分子真空泵
有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。
24.氣體顆粒過(guò)濾器
GWT系列真空系統(tǒng)氣體塵埃顆粒過(guò)濾器主要由腔體、濾芯組件、密封圈、快卸法蘭等組成。腔體采用鋁合金制造，表面硬質(zhì)陽(yáng)極耐腐蝕處理。內(nèi)部帶有無(wú)污染、可重復(fù)使用的可拆卸濾芯組件，不會(huì)嚴(yán)重影響抽速，能有效過(guò)濾直徑大于10微米的塵埃顆粒、化學(xué)煙霧和噴霧，過(guò)濾效率達(dá)98%，適用于藥品、食品加工、陶瓷與玻璃加工、真空爐以及真空包裝機(jī)等的氣體過(guò)濾。
25.低溫真空泵
利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵。
26.冷阱（水冷擋板）
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
27.氣鎮(zhèn)閥
機(jī)械真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開(kāi)閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門(mén)稱(chēng)為氣鎮(zhèn)閥。
28.真空冷凍干燥
真空冷凍干燥，也稱(chēng)升華干燥。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的。
29.真空蒸鍍
在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱(chēng)為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。
30.真空干燥
利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法。
31.真空系統(tǒng)常用名稱(chēng)
(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的渦輪分子泵就是主泵。
(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗抽泵。
(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。